炭化ケイ素セラミックス膜の成膜方法

シリコンカーバイドセラミック膜の成膜方法
シリコンカーバイドセラミック膜は、耐高温性、耐熱衝撃性、耐腐食性、高損失性、長寿命などの利点があり、環境汚染防止分野の重要な材料です。
応用プロセス用の高性能シリコンカーバイドセラミック膜の製造方法は、現在の研究のホットスポットとなっています。
シリコンカーバイドセラミック膜の成膜方法は何ですか？ディップメッキプル法、スプレーコーティング法、化学蒸着法、相反転法などが含まれます。